3 月 8 日消息 上海新陽今日發(fā)布公告：公布了最新的 ASML-1400 光刻機(jī)有關(guān)進(jìn)展。
經(jīng)各方積極協(xié)商、運作，ASML-1400 光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司場地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。公司采購的 ASML 干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付，對加快 193nmArF 干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度有積極影響。
據(jù)介紹，上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司自立項開發(fā) 193nmArF 干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目以來，委托購買了 ASML-1400 光刻機(jī)等核心設(shè)備，并于今日運抵國內(nèi)。
官方對該公司的影響及風(fēng)險提示：
1、公司采購的 ASML 干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付，對加快 193nm ArF 干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度有積極影響，有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，加快落實公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險能力和可持續(xù)發(fā)展能力。
2、該光刻機(jī)尚須經(jīng)過裝機(jī)、調(diào)試等相關(guān)環(huán)節(jié)，若相關(guān)環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或失誤則存在造成所購買的光刻機(jī)投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風(fēng)險。
3、光刻膠研發(fā)項目技術(shù)壁壘高、周期長、至產(chǎn)業(yè)化并最終實現(xiàn)銷售利潤仍需一定時間，而公司購買的光刻機(jī)設(shè)備價格昂貴，其折舊及后續(xù)維護(hù)費用預(yù)計對公司的經(jīng)營業(yè)績存在一定影響。
