5 月 13 日消息，蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司發(fā)布公告稱，截至目前，一期年產(chǎn) 3 萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級(jí)高純硫酸技改項(xiàng)目已完成項(xiàng)目備案、環(huán)境影響評(píng)價(jià)批復(fù)等程序。項(xiàng)目全部工程已建設(shè)完工，項(xiàng)目所需設(shè)備已購置并安裝、調(diào)試完畢，運(yùn)行穩(wěn)定。經(jīng)近期試生產(chǎn)調(diào)試，半導(dǎo)體級(jí)高純硫酸產(chǎn)品金屬雜質(zhì)含量低于 10ppt，達(dá)到 G5 級(jí)水平，品質(zhì)已達(dá)全球同行業(yè)第一梯隊(duì)水平，產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)可以履蓋目前全部先進(jìn)集成電路技術(shù)節(jié)點(diǎn)的要求。
據(jù)悉 2020 年 6 月晶瑞股份啟動(dòng)了年產(chǎn) 9 萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級(jí)高純硫酸技改項(xiàng)目。同時(shí)，為進(jìn)一步提升項(xiàng)目建設(shè)及運(yùn)營(yíng)管理效率，該項(xiàng)目采用分期方式予以投建實(shí)施。一期建設(shè)項(xiàng)目設(shè)計(jì)年產(chǎn)能 3 萬噸，總投資 18,742.13 萬元。
